Вакуумные турбомолекулярные насосы FF-400

Турбомолекулярный насос — один из видов вакуумных насосов, используемый для создания и поддерживания высокого вакуума. Принцип турбомолекулярного насоса основан на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости в направлении откачки специальным вращающимся ротором. Структура ротора представлена системой дисков. Вакуум, создаваемый турбомолекулярным насосом, как правило, до 10-8 Па (10-10 мм рт. ст.). Скорость вращения ротора — десятки тысяч оборотов в минуту.

Для работы турбомолекулярный насос требует использования форвакуумного насоса. Турбомолекулярные насосы позволяют достигать состояния среднего, высокого и сверхвысокого вакуума с остаточными газами, молекулярная масса которых меньше 44.

Турбомолекулярный насос является, по сути, многоступенчатым осевым компрессором, роторные и статорные ступени которого снабжены плоскими лопатками, наклоненными вдоль радиуса. Во время вращения роторных ступеней с высокой скоростью происходит откачка молекул газа ввиду различной вероятности перехода через наклонные каналы ступеней в прямом и обратном направлениях.

Турбомолекулярный насос рассчитан на работу в условиях молекулярного режима течения газа. Для обеспечения работоспособности турбомолекулярного насоса необходимо гарантировать на выходе из его последней ступени молекулярный режим течения газа любым типом насоса для достижения предварительного разрежения (как правило, это достигается форвакуумным насосом) с последующим выхлопом в атмосферу. Молекулярный насос состоит из специальных молекулярных ступеней, установленных на одном роторе. Для его работы также возможно применение форвакуумного насоса (в зависимости от конструкций ступеней молекулярного насоса).